Shenyang Starlight Advanced Ceramics entrega com sucesso barcos de três postes de carboneto de silício de 8 polegadas para processamento de wafers semicondutores

A Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., fabricante líder de produtos de carboneto de silício com mais de 30 anos de experiência no setor, atingiu recentemente um marco significativo ao desenvolver e fornecer com sucesso barcos de três postes de carboneto de silício de 8 polegadas especializados para aplicações de tratamento térmico de wafers semicondutores.

Avanço na tecnologia de processamento de wafers

O recém-desenvolvido 8 polegadascarboneto de silícioOs barcos de três postes representam um grande avanço na tecnologia de manuseio de wafers, projetados especificamente para:

• Processamento de alta temperatura de wafers semicondutores de 200 mm

• Distribuição térmica uniforme durante etapas críticas de fabricação

• Riscos de contaminação reduzidos em ambientes de salas limpas

Superioridade Técnica

Esses barcos projetados com precisão apresentam:

• Pureza ultra-altacarboneto de silíciomaterial (99,99% de pureza)

• Design otimizado de três postes para contato mínimo com o wafer

• Resistência excepcional ao choque térmico (suporta mudanças rápidas de temperatura de até 1.400 °C)

• Inércia química superior contra gases de processo corrosivos

Atendendo às demandas da indústria

"Nossos 8 polegadascarboneto de silícioOs barcos de três postes atendem à crescente necessidade da indústria de semicondutores por portadores de wafers confiáveis ​​e de alto desempenho, disse o Dr. Li, Diretor de Tecnologia. Eles oferecem vantagens significativas sobre os portadores de quartzo tradicionais, incluindo maior vida útil e melhor estabilidade térmica.

Processo de Desenvolvimento Rigoroso

O desenvolvimento do produto envolveu:

• 18 meses de P&D intensivo

• Colaboração com os principais fabricantes de semicondutores

• Mais de 200 testes de ciclo térmico

• Medidas rigorosas de controle de contaminação por partículas

Garantia de Qualidade

Cada unidade passa por:

• Verificação da precisão dimensional (tolerância de ±0,02 mm)

• Teste de rugosidade de superfície (Ra < 0,2μm)

• Inspeção visual abrangente

• Limpeza final e embalagem em sala limpa Classe 100

Aplicações

Os barcos estão sendo usados ​​atualmente para:

• Processos de difusão

• Tratamentos de recozimento

• Processos de oxidação

• Aplicações CVD

Desenvolvimentos futuros

Com base nesse sucesso, a Shenyang Starlight agora está desenvolvendo:

• Versão de 12 polegadas para tamanhos de wafer de próxima geração

• Projetos personalizados para requisitos de processos específicos

• Revestimentos avançados para aplicações especializadas

Compromisso da empresa

"Como uma empresa com três décadas de experiência em cerâmica, continuamos comprometidos em expandir os limites da tecnologia de materiais semicondutores," acrescentou o Dr. Li. " Este lançamento de produto demonstra nossa capacidade de desenvolver soluções que atendem aos requisitos mais exigentes do setor."