Barco de wafer de carboneto de silício ligado por reação

1. Nosso SIC Wafer Boat tem alta condutividade térmica.
2. Nosso SIC Wafer Boat tem alta dureza, perdendo apenas para o diamante e o nitreto de boro cúbico
3. Nosso barco de wafer SIC é resistente à corrosão, ácidos fortes e álcalis fortes não o corroem, e sua resistência à corrosão é melhor do que carboneto de tungstênio e óxido de alumínio;

  • STARLIGHT
  • Shenyang, China
  • Com base na quantidade pedida pelo produto
  • 500t/ano

Detalhes

Introdução ao barco de wafer de carboneto de silício ligado por reação:

Nos últimos anos, as indústrias de semicondutores e fotovoltaicas se desenvolveram rapidamente, a escala da indústria aumentou rapidamente, os equipamentos de fabricação continuaram a evoluir em direção à precisão e complexidade, e houve crescentes requisitos técnicos e demandas de localização para componentes-chave de cerâmicas de alta precisão. É uma nova oportunidade de desenvolvimento e um ponto de virada para empresas de fabricação de carboneto de silício.

Os barcos de wafer de carboneto de silício surgiram como uma solução superior para processos industriais de alta temperatura, particularmente na fabricação de semicondutores, metalurgia e sinterização avançada de cerâmicas. Esses componentes combinam as propriedades excepcionais do carboneto de silício com design inovador, oferecendo vantagens distintas sobre alternativas tradicionais de cerâmica ou grafite.

‌1. Estabilidade térmica e mecânica excepcional‌

Os barcos de wafer SIC exibem excelente resistência ao choque térmico, mantendo a integridade estrutural mesmo quando submetidos a rápidas flutuações de temperatura de até 1.380 °C. Essa estabilidade decorre do baixo coeficiente de expansão térmica do carboneto de silício (4,0×10⁻⁶/°C) combinado com o processo de ligação por reação que minimiza as tensões internas. Ao contrário dos barcos de grafite convencionais que se degradam acima de 500 °C em ambientes oxidativos, os componentes do barco de wafer SIC demonstram excelente resistência à oxidação, garantindo longevidade em ciclos repetidos de alta temperatura.

‌2. Design otimizado para eficiência de processo‌

A configuração de três postes melhora a uniformidade térmica em aplicações críticas, como processos de difusão e CVD (Chemical Vapor Deposition). Os postes simétricos garantem uma distribuição uniforme do calor, reduzindo os gradientes de temperatura para menos de 5°C em todo o comprimento do barco. Este design também minimiza a deformação do wafer durante o processamento de semicondutores, melhorando as taxas de rendimento em até 15% em comparação com barcos de fundo plano. A estrutura aberta facilita uma melhor dinâmica do fluxo de gás, aumentando a consistência do processo em fornos com atmosfera controlada.

‌3. Inércia química superior‌

A natureza não reativa do Silicon Carbide Wafer Boat o torna ideal para lidar com materiais corrosivos. Com menos de 0,5% de porosidade obtida por meio do processo de ligação por reação, esses barcos demonstram notável resistência a fluxos ácidos/alcalinos e metais fundidos. Na fabricação de células solares, essa propriedade evita a contaminação metálica (por exemplo, alumínio ou prata), mantendo a pureza do wafer com níveis de impurezas abaixo de 1 ppb.

Atualmente, nossa empresa pode produzir tubos de grande diâmetro, tubos de parede fina, hélices cantilever, barcos de pastilhas de carboneto de silício ligados por reação, etc.

Silicon Carbide Wafer Boat

Vantagens do barco de wafer de carboneto de silício ligado por reação:

1. Nossos barcos de wafer SIC são resistentes a altas temperaturas, desgaste e fluência;

2.Nosso SICOs barcos wafer têm alta resistência ao impacto e longa vida útil;

3. Nossos barcos de wafer SIC têm alta densidade e podem ser personalizados de acordo com as necessidades do cliente;


Garantia de qualidade e controle de qualidade:

Para atender à demanda do cliente pelos produtos da nossa empresa, todo processo de produção é rigorosamente controlado desde o momento em que as matérias-primas entram na fábrica. Todos os produtos são rigorosamente inspecionados antes de saírem da fábrica. Com base em nosso sistema de gestão, nossa inspeção e controle da qualidade do produto atendem aos padrões da indústria e corporativos.

Reaction bonded silicon carbide wafer boat

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