Shenyang Starlight Advanced Ceramics alcança marco na fabricação de semicondutores com tubos de revestimento de precisão de 451 mm de diâmetro externo para processamento de wafers de 12 polegadas

A Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., pioneira na fabricação de carboneto de silício com mais de três décadas de experiência, alcançou recentemente um avanço significativo ao fornecer com sucesso tubos de revestimento especializados de 451 mm de diâmetro externo (DE) para processos de fabricação de wafers semicondutores de 12 polegadas. Essa conquista reforça a liderança da empresa no avanço de componentes cerâmicos críticos para a indústria global de semicondutores. Os tubos de revestimento recém-desenvolvidos, projetados especificamente para aplicações de processamento de wafers em alta temperatura, apresentam um diâmetro externo de flange otimizado de 451 mm, projetado para atender aos rigorosos requisitos de equipamentos avançados de fabricação de semicondutores. Utilizando carboneto de silício de ultra-alta pureza (≥99,999%) com estabilidade térmica excepcional (faixa de operação: ambiente a 1.450 °C), estestubos de revestimento Os componentes garantem expansão térmica mínima (coeficiente de 4,0×10⁻⁶/K) e resistência superior a gases corrosivos de processo, permitindo desempenho consistente em processos de oxidação, difusão e deposição química de vapor (CVD). A engenharia de precisão dos tubos de revestimento garante tolerâncias dimensionais de ±0,05 mm e rugosidade superficial abaixo de Ra 0,1 μm, essenciais para manter a integridade do wafer e reduzir os riscos de contaminação por partículas em ambientes de salas limpas.

O tubos de revestimentoO processo de desenvolvimento envolveu 18 meses de rigorosa colaboração em P&D com os principais fabricantes de semicondutores, incorporando análise avançada de elementos finitos (FEA) para otimizar a dinâmica do fluxo de gás e a uniformidade térmica em todo o diâmetro interno de 300 mm. Mais de 500 testes de ciclo térmico validaram otubos de revestimento' durabilidade sob rápidas flutuações de temperatura, enquanto técnicas de sinterização proprietárias garantemtubos de revestimento integridade estrutural em temperaturas extremas. A produção ocorre em salas limpas ISO Classe 5, com cada unidade passando por um rigoroso processo de tubos de revestimentoControles de qualidade, incluindo testes de vazamento de hélio, análise de gases residuais (RGA) e validação metrológica usando scanners a laser e máquinas de medição por coordenadas (CMMs). Os pioneiros na produção de lógica avançada e chips de memória relataram uma redução de 35% no tempo de inatividade do forno e uma melhoria de 20% no rendimento do wafer em comparação com os revestimentos de quartzo tradicionais, atribuídos à inércia química inerente do material e à redução da necessidade de manutenção.

Esse tubos de revestimentoA inovação atende à crescente demanda da indústria de semicondutores por wafers maiores e maior consistência de processo, especialmente com a transição dos fabricantes para nós sub-5 nm. O design de 451 mm de diâmetro externo permite integração perfeita com fornos verticais de última geração, enquanto os níveis ultrabaixos de impurezas metálicas do material (<0,1 ppb) previnem a contaminação por dopantes em processos sensíveis. Além das aplicações atuais, a Shenyang Starlight está desenvolvendo ativamente sistemas inteligentestubos de revestimentoprotótipos com sensores incorporados para monitoramento de temperatura em tempo real e sistemas de gerenciamento térmico adaptativo compatíveis com ecossistemas de manufatura da Indústria 4.0.

Com um legado de 30 anos e mais de 2.000 parcerias bem-sucedidas com clientes, a Shenyang Starlight continua a impulsionar a inovação em cerâmicas de alto desempenho, combinando excelência em ciência de materiais com engenharia de precisão para resolver os desafios mais complexos da indústria de semicondutores.